Benzocyclobutenon mikroelektromekaniske systemer (MEMS) er en type mikroelektromekanisk system, der bruger benzocyclobutenon som materiale til fremstilling af MEMS-enheder. Benzocyclobutenon er et lille molekyle, der har en unik kombination af egenskaber, herunder høj termisk stabilitet, lav dielektrisk konstant og høj mekanisk styrke.
Brugen af benzocyclobutenon i MEMS -enheder har flere fordele i forhold til andre materialer. For eksempel kan det bruges til at fremstille enheder med høje aspektforhold, som er vigtige for mange MEMS -applikationer. Derudover er benzocyclobutenon kompatibel med en lang række fabrikationsprocesser, herunder fotolitografi, ætsning og afsætning.
Benzocyclobutenon MEMS -enheder er blevet anvendt i en række anvendelser, herunder mikrofluidik, kemisk sensing og optisk kommunikation. Et eksempel er udviklingen af en benzocyclobutenon-baseret mikrocantilever-sensor til påvisning af flygtige organiske forbindelser (VOC'er) i gasprøver.
Generelt tilbyder Benzocyclobutenon MEMS en lovende vej til udvikling af højtydende mikrodevices med unikke egenskaber.
Abonner på vores nyhedsbrev:
Få opdateringer, rabatter, specielle
Tilbud og store præmier!